氧含量的分析，特别是微量氧分析、空气中的氧含量高达21%的氧气，如果处理不当则导致污染和干扰样本，分析数据的结果不正确。主要原因是氧气分析仪操作不当。这里有几个影响测定的因素：1、氧气检测仪气体系统简化和清洁。微观分析需要的有效消除气体的各种管件、阀门、手表和其他死角的样品气体造成的污染。因此，尽可能简化气体系统，利用小角连接等等。此外，避免用水密封，油密封和蜡密封和其他设备以防止解散溶解氧造成污染，也避免氧分析仪的样品气进口管道增加污染容易造成净化设备。只有用这种方法我们才能确保清洁系统和数据是准确的。2、氧气检测仪污染。使用氧气检测仪时，需要注意空气采样线连接时泄露和被泄露的空气必须仔细清洗，以免让大量的氧气通过传感器延长传感器的生命。管道系统净化过程中，为了缩短净化时间，需要有一定的方法，一般使用高压放气和小流量吹除可以快速净化管道。3、管道材料的选择。管道材料和表面粗糙度也会影响样品气中氧含量的变化。一般不应该使用塑料管，橡皮管连接管。通常使用黄铜或不锈钢管，超微分析(指0.1ppm)必须抛光不锈钢管。4、氧气检测仪泄漏问题。氧气检测器必须严格泄露之前第一次启用。氧分析仪只能得到准确的数据结果而不被泄露。任何连接点，焊点，阀门等处的不严密，将会导致空气中的氧反渗进入管道及氧分析仪内部，从而得出含氧量偏高的结果。
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